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THS4減振器因其內(nèi)部阻尼室的空間更大,所以能提供更出色的減振及衰減性能,且穩(wěn)定時(shí)間遠(yuǎn)優(yōu)于光學(xué)平臺(tái)。
減振方式:氣動(dòng)減振
固有頻率:垂直/水平=1.5-2HZ
10Hz減振率:90-99%
自動(dòng)調(diào)整水平:是
調(diào)整水平重復(fù)性:
1、標(biāo)準(zhǔn)調(diào)整精度±1.0mm
2、高精度調(diào)整精度±0.05mm
在垂直和水平方向提供水平的減振性能。THS4減振器采用兩室系統(tǒng),用節(jié)流孔將氣室與阻尼室相連接。
兩室結(jié)構(gòu)能夠有效衰減傳遞到設(shè)備的振動(dòng),使運(yùn)動(dòng)平臺(tái)所需時(shí)間降低,并且固有頻率更低。
如需較高的水平度,可將精密調(diào)平閥(±0.05mm)安置在減振器上,減振性能更好。
在THS4系列減振器上可以安裝內(nèi)置型油阻尼,搭載運(yùn)動(dòng)平臺(tái)的設(shè)備穩(wěn)定時(shí)間得以縮減,減振器剛性提升。
光學(xué)設(shè)備、檢測(cè)設(shè)備、半導(dǎo)體設(shè)備、探針臺(tái)