半導(dǎo)體設(shè)備是指光刻機(jī)、晶圓檢測(cè)設(shè)備等，這類設(shè)備的精度要求都非常高，對(duì)振動(dòng)均非常敏感，通常需求主動(dòng)減振器才能滿足要求，也有檢測(cè)類設(shè)備被動(dòng)減振器即可滿足。這類設(shè)備的減振器是標(biāo)配產(chǎn)品，減振器能抑制振對(duì)設(shè)備運(yùn)行的影響，保證設(shè)備的穩(wěn)定性和納米精度要求。

半導(dǎo)體設(shè)備如何選擇減振器

在選擇減半導(dǎo)體減振器設(shè)備之前，首先要了解周邊的環(huán)境和設(shè)備的詳細(xì)參數(shù)。只有將這些因素整理清楚，才可以進(jìn)行減振器的選型，當(dāng)然對(duì)于安裝的時(shí)候才能夠更好的去做到細(xì)節(jié)上的安裝，設(shè)備減振器的使用帶動(dòng)的是不斷的環(huán)境上的改善, 將所有的減震細(xì)節(jié)和環(huán)境進(jìn)行相結(jié)合，給出的是更多的方案，對(duì)于工業(yè)生產(chǎn)中的安裝來(lái)說(shuō)是非常的重要的。

三思THA系列主動(dòng)減振器

產(chǎn)品特點(diǎn)：

· 輕巧便捷，安裝方便，無(wú)需氣源，電源接入，即插即用

· 手動(dòng)調(diào)節(jié)水平，簡(jiǎn)捷操作，節(jié)省成本
· 六自由度傳感器反饋信號(hào)到電機(jī)實(shí)施主動(dòng)反向推力消除振動(dòng)


· 可實(shí)時(shí)監(jiān)控

產(chǎn)品參數(shù)

半導(dǎo)體生產(chǎn)對(duì)于設(shè)備減振器的需求是很大的，因?yàn)榛旧厦恳粋€(gè)半 導(dǎo)體的生產(chǎn)環(huán)節(jié)都是用到了設(shè)備減振器的，而好的設(shè)備減振方案和好的設(shè)備減振器是能夠帶動(dòng)生產(chǎn)環(huán)境的良好發(fā)展，對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展也是相當(dāng)?shù)闹匾?

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