精密加工設(shè)備

精密機(jī)床加工精度的要求日益提高。采用納米技術(shù)，可以使機(jī)器在剪切、旋轉(zhuǎn)、拋光和定位時(shí)到達(dá)微米級(jí)甚至埃及（0.1納米）的精度。

高精度機(jī)床

超高精度的設(shè)備在許多行業(yè)中應(yīng)用，包括半導(dǎo)體晶片加工、光學(xué)/鏡頭加工和非標(biāo)材料的加工。

高精度定位設(shè)備包括鉆石車削機(jī)床、X-Y坐標(biāo)機(jī)和CD計(jì)量?jī)x，通常用激光干涉法對(duì)材料定位，用以進(jìn)行納米指標(biāo)檢測(cè)。此外，如表面光度儀，輪廓度儀，粗糙度儀和圓度儀等設(shè)備需要提供亞微米級(jí)的測(cè)量。

超精密運(yùn)動(dòng)平臺(tái)

設(shè)備功能包含對(duì)光學(xué)玻璃，晶體，非鐵金屬，高分子材料和陶瓷材料的超精密車削和微磨。通常上述材料的表面需要加工到不需要或（需要少量）拋光就達(dá)到亞微米級(jí)的表面光滑度。例如CD，隱形眼鏡模具，光學(xué)鏡片和激光鏡等就是這樣加工出來(lái)的。

高端檢測(cè)設(shè)備

此類設(shè)備如三座標(biāo)檢測(cè)，為檢測(cè)超高精度產(chǎn)品，減少振動(dòng)對(duì)零件檢測(cè)造成的誤差，必須加上隔振器即可滿足終端客戶的要求。

光學(xué)平臺(tái)設(shè)備

隔振器能有效隔離振動(dòng)對(duì)光學(xué)設(shè)備的影響，提供高清圖像采集的效率，避免重影，提高圖像采集的精確度。

半導(dǎo)體行業(yè)

半導(dǎo)體設(shè)備是指光刻機(jī)、晶圓檢測(cè)設(shè)備等，這類設(shè)備的精度要求都非常高，對(duì)振動(dòng)均非常敏感，通常需求主動(dòng)隔振器才能滿足要求，也有檢測(cè)類設(shè)備被動(dòng)隔振器即可滿足。這類設(shè)備的隔振器是標(biāo)配產(chǎn)品，隔振器能抑制振對(duì)設(shè)備運(yùn)行的影響，保證設(shè)備的穩(wěn)定性和納米精度要求。