被動隔振平臺（Passive Vibration Lsolation System）

被動隔振平臺一般由質(zhì)量 – 彈簧 – 阻尼系統(tǒng)組成，主要使用線圈彈簧（Coil Spring）、隔振橡膠墊（Elastomer Pad）、空氣彈簧（Air Speing）來隔離地基振動，或是隔離振動源使其振動不至于專遞到地基。該系統(tǒng)的有點為簡單的結(jié)構(gòu)即可獲得最大的隔振效果，但其缺點為在低頻段的共振及隔振性能極低，需要很長的穩(wěn)定時間，另外操作性也較差。

主動隔振平臺（Active Vibration Lsolation System）

被動隔振平臺在低頻段難以隔離振動，為改善其隔振性能，主動隔振平臺安裝振動傳感器和執(zhí)行器，以此有效控制振動。

主動隔振系統(tǒng)從隔振臺上板處開始測試振動，由控制執(zhí)行器推力的反饋控制，以及從隔振臺地板處開始測試振動并以此來控制執(zhí)行器推力的前饋控制組成。使用這一控制系統(tǒng)，不僅能夠大幅改善被動隔振平臺的動特性，還能有效改善低頻段隔振性能，并且不會出現(xiàn)共振。

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